芯片開(kāi)封的定義芯片開(kāi)封,即Decap,是一種對(duì)完整封裝的集成電路(IC)芯片進(jìn)行局部處理的工藝。其目的是去除芯片的封裝外殼,暴露出芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu),同時(shí)確保芯片功能不受損。芯片開(kāi)封是芯片故障分析實(shí)驗(yàn)的重要準(zhǔn)備環(huán)節(jié),能夠保護(hù)芯片的Die、bond pads、bond wires及l(fā)ead等關(guān)鍵部分,為后續(xù)的失效分析測(cè)試提供便利,便于進(jìn)行熱點(diǎn)定位、聚焦離子束(FIB)等測(cè)試操作。芯片開(kāi)封的方法1.激光開(kāi)封激光開(kāi)封是利用激光束的能量作用于芯片塑封表面,通過(guò)氣化作用去除器件填充料。這種方法具有顯著優(yōu)勢(shì),操作速度快,過(guò)程簡(jiǎn)便,且相對(duì)安全,無(wú)危險(xiǎn)性。激光開(kāi)封能夠精準(zhǔn)地去除封裝材料,而不會(huì)對(duì)芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成不必要的損傷,因此在芯片開(kāi)封領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。。2.化學(xué)腐蝕化學(xué)腐蝕則依賴(lài)于特定的化學(xué)試劑,如濃硫酸、