高壓放大器在工業(yè)領(lǐng)域的主要作用是把低壓控制信號(hào)放大到數(shù)百伏甚至幾十千伏,并保證足夠的帶寬、精度和穩(wěn)定性,以驅(qū)動(dòng)各類“高壓型”負(fù)載。綜合最新資料,其典型工業(yè)應(yīng)用可歸為以下九大場(chǎng)景:工業(yè)自動(dòng)化與運(yùn)動(dòng)控制為壓電馬達(dá)、電磁閥、電液伺服閥等提供100V–2kV的可調(diào)脈沖或連續(xù)高壓,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位、高速啟停與力矩控制;在CNC機(jī)床、半導(dǎo)體光刻平臺(tái)、激光切割頭伺服中均有部署。半導(dǎo)體與LED制造離子注入機(jī)、等離子刻蝕、薄膜沉積設(shè)備需要0.5–10kV、微秒級(jí)上升沿的精確高壓脈沖,高壓放大器作為柵極/陰極驅(qū)動(dòng)源,可直接決定摻雜劑量均勻性和刻蝕線寬精度。圖:ATA-7100高壓放大器指標(biāo)參數(shù)激光加工與打標(biāo)高壓放大器提供10–50kHz重復(fù)頻率、<100ns上升沿的驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)高峰值功率脈沖輸出,完成精密切割